Marka: AmatAçıklama: CMP uç nokta denetleyici kartıDurum: YepyeniSertifika: COO Test Raporu Garanti MektubuGaranti: 1 yılEnvanter Miktar: 3Ödeme Süresi: T/TNakliye Limanı: ShenzhenAMAT 0100-77014, yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan bir kontrol modülüdür. Esas olarak sinyal işleme, sistem iletişimi ve süreç izleme için kullanılır. İstikrar ve gerçek zamanlı performansı sağlamak için AMAT ekipman platformuna entegre edilmiştir.
| Üretmek |
Çok |
| Model numarası |
0100-77014 |
| Menşei ülke |
Amerika |
| HS kodu |
85389000 |
| Boyut |
25*15*3cm |
| Paketleme boyutu |
27*17*5cm |
| Ağırlık |
1kg |
Teknik parametreler
Giriş Voltajı: DC 24V ±% 10
Güç Tüketimi: ≤15W
İzolasyon Voltaja Dayanma: 1500V AC/1 dakika
İletişim Arayüzü: RS-232/RS-485, Ethernet (10/100Mbps)
Çalışma sıcaklığı: 0 ° C ila 50 ° C
4-20mA analog giriş/çıkışı destekleyin
Dijital G/Ç: 8 kanal
Örnekleme frekansı: 1khz
Doğruluk: ±% 0.1 FS
Koruma Seviyesi: IP67
Kurulum yöntemi: DIN RAY veya panel sabit
İşlevsel özellikler
1. Gerçek zamanlı süreç izleme ve geri bildirim
AMAT 0100-77014 Sıcaklık, basınç, akış hızı vb. Gibi anahtar parametreleri, yüksek hızlı veri toplama modülü yoluyla gerçek zamanlı olarak izler ve gofret işleme tutarlılığını sağlamak için yerleşik algoritmalarla birlikte işlem parametrelerini dinamik olarak ayarlar.
2. Gereksiz iletişim ve yüksek güvenilirlik tasarımı
0100-77014 Çift bağlantılı yedek iletişimi (RS-232 + Ethernet) destekler, ana ve bekleme cihazları arasında otomatik geçiş yaparak AMAT 0100-77014'ün sıfır kesinti çalışmasını 7/24 sürekli üretimde sağlar
3. Multi-Protokol Uyumluluğu ve Sistem Entegrasyonu
Proses verilerinin merkezi yönetimini sağlamak için Amat Endura, Centura ve diğer platformların ana bilgisayar sistemine sorunsuz bir şekilde bağlanan DNET ve Modbus TCP gibi endüstriyel protokollerle uyumludur.
4.Safety protection and alarm linkage
AMAT 0100-77014, anormal çalışma koşullarından kaynaklanan ekipman hasarını önlemek için yerleşik aşırı gerilim/aşırı akım koruma devresine sahiptir, eşik tetikleme alarmını (ses ve ışık/plc bağlantısı) destekler
Uygulama senaryoları
1. yüksek enerjili iyon implantasyon işlemi
Viista 3000xp/900xp iyon implanter doz kontrol sistemi için kullanılır, kiriş açısının gerçek zamanlı kalibrasyonu ve doz homojenliği
2.PVD metal biriktirme izleme
Teneke/Ti film biriktirme oranını optimize etmek için endura platformundaki püskürtme hedef sıcaklığı ve vakum odası basıncını izleyin.
3.CVD Gaz Akışı Kontrolü
Centura 5200 Reaksiyon Odasına entegre, film kalınlığının tutarlılığını sağlamak için TEOS ve SIH₄ gibi proses gazlarının akışını dinamik olarak ayarlayın
