Çok 0100-77040

Teknik parametreler

Giriş Voltajı: 100–240V AC

İletişim Arayüzü: Ethernet, RS-485 (

Çalışma sıcaklığı aralığı: -10 ℃ ila +60 ℃

Koruma Seviyesi: IP20

Yanıt Süresi: ≤5ms

Uyumlu pnömatik basınç: 0.5-1.0mpa

Mekanik Yaşam: ≥1 milyon döngü

İşlevsel özellikler

1. yüksek hassasiyetli pnömatik tahrik kontrolü

AMAT 0100-77040, gofret transfer robotik kolları ve oda contaları gibi aktüatörlerin eylemlerinin milimetre düzeyinde doğruluğunu sağlamak ve gofret hasarı riskini azaltmak için pnömatik valflerin açılış ve kapanış derecesini ve basınç çıkışını gerçek zamanlı olarak ayarlamak için kapalı döngü geri besleme teknolojisini kullanır.

2. Multi-protocol industrial communication integration

0100-77040, Amat Centura, Endura ve diğer platformların ana kontrol sistemleri ile sorunsuz yerleştirme elde etmek için Ethernet, RS-485 ve DeviceNet protokollerini destekler. AMAT 0100-77040 Tüm makinenin otomasyon seviyesini iyileştirmek için ekipman durumu verilerini merkezi izleme ünitesine senkronize edebilir.

3. Karşıtı anti-müdahale ve hataya teşhis

Yerleşik elektromanyetik ekranlama devresi ve yedek devre tasarımı, radyo frekansı parazitine (RFI) ve güç kaynağı dalgalanmalarına etkili bir şekilde direnebilir; Anormal olduğunda ses ve ışık alarmlarını tetikleyebilen ve hata kodlarını kaydedebilen gerçek zamanlı hata algılama işlevine sahiptir.

4 Modüler Hızlı Dağıtım

AMAT 0100-77040, AMAT P5000 ve Viista iyon implantasyon platformu gibi baş pnömatik ekipman birimi ile uyumlu, standartlaştırılmış bir kart yuvası kurulum yapısı benimser, Hot-SWAP replasmanını destekler ve ekipman kesintisini önemli ölçüde azaltır

Uygulama senaryoları

Gofret Transfer Sistemi: Vakum odası ile yük kilidi (PVD/CVD ekipmanı gibi) arasında yüksek hızlı gofret transferi elde etmek için robotik kolun pnömatik tutucusunu sürün

Proses Odası Sızdırmazlık Kontrolü: Kavrama/Biriktirme Odasının vakum izolasyon durumunu korumak için kapı valfini (yarık valf) ayarlayın