Çok 0100-20004

Giriş Voltajı: 100–240V AC

Çıkış Voltajı: 24V DC

İletişim Arayüzü: Ethernet (10/100Base-T), RS-485 (Baud Hızı 9600–115200bps)

Çalışma sıcaklığı: -10 ℃ ila 60 ℃

Veri Örnekleme Oranı: 100 Hz

Koruma Seviyesi: IP20

Kurulum Yöntemi: Kılavuz ray veya vida fiksasyonu

Giriş aralığı: -10v ila +10V

Dijital Kanal: 16 İzole Giriş/Çıktı (Destek TTL/CMOS seviyesi)

Protokol Desteği: Modbus TCP, DNET

İşlevsel özellikler

1. Çok Sistem Sinyal Yönlendirme Hub

AMAT 0100-20004 Çekirdek ara bağlantı kurulu olarak, oda kontrolörü, sensör ve ana kontrol ünitesi arasındaki kesintisiz veri etkileşimini elde etmek için yüksek yoğunluklu sinyal yönlendirme işlevini entegre eder, kablo karmaşıklığını azaltın ve yanıt hızını iyileştirir

2. Müdahale ve istikrar garantisi

Üçlü elektromanyetik koruyucu TEC7HNOLOJİ ve izole güç kaynağı tasarımı, AMAT 0100-20004'ün yüksek voltajlı bir radyo frekansı (RF) ortamında stabil bir şekilde çalışmasını sağlamak için kullanılır ve sinyal hata oranının% 0.001'den az olması

3. Gerçek zamanlı süreç izleme ve teşhis

0100-20004 Dahili gerçek zamanlı veri toplama motoru, işlem parametrelerinin (sıcaklık, basınç, akış) dinamik izlemesini ve anormal alarmını destekler ve AMAT 0100-20004'ün öngörücü bakım elde etmesine ve ekipman kesinti riskini azaltmasına yardımcı olur

4. Hızlı entegrasyon ve uyumluluk optimizasyonu

AMAT Centura 5200, Endura 5500 ve diğer platformlarla uyumlu standart arayüzler ve tak ve oynatma yapılandırması sağlayın, ekipman hata ayıklama döngüsünü% 30'dan fazla kısaltın

Uygulama senaryoları

1. iyon implantasyon işlemi

Açı kontrol ve doz kalibrasyonunu elde etmek için viista 3000xp/900xp iyon implanters'ın oda sinyal entegrasyonu için kullanılır

2. İnce film biriktirme ekipmanı

Film homojenliğini sağlamak için Centura CVD/PVD sistemindeki rota gaz akışı, RF gücü ve sıcaklık sinyalleri

3. Vakum sistemi kontrolü

Vakum derecesini, moleküler pompayı ve soğutma ünitesini, vakum derecesini ve sızıntı alarmını gerçek zamanlı olarak izlemek için bağlayın (Endura platformu gibi)

4. Gofret Transfer Otomasyonu

İletim doğruluğunu ve verim verimliliğini artırmak için robotik kolları (getirme kolu gibi) ve gofret konumlandırma sistemlerini sürün