Marka: AmatAçıklama: Oda Arayüz ModülüDurum: YepyeniSertifika: COO Test Raporu Garanti MektubuGaranti: 1 yılEnvanter Miktar: 3Ödeme Süresi: T/TNakliye Limanı: ShenzhenAMAT 0100-35054, plazma işlem odasının anormal koşullar altında güvenlik kilitleme mekanizmasını otomatik olarak tetiklediğinden emin olmak için ekipman çalışma durumunu gerçek zamanlı olarak izleyen bir oda arayüz modülüdür.
Üretmek |
Çok |
Model numarası |
0100-35054 |
Menşei ülke |
Amerika |
HS kodu |
85389000 |
Boyut |
25*10*2cm |
Paketleme boyutu |
27*12*4cm |
Ağırlık |
0.8kg |
Teknik parametreler
Arayüz türü: VME veri yolu uyumlu, 16 bit paralel veri iletimini destekler.
Çalışma voltajı: 24V DC ±%5, maksimum akım yükü 2a.
Çalışma sıcaklığı: -10 ° C ila 70 ° C.
Koruma Seviyesi: IP20.
Sinyal Yanıt Süresi: ≤5ms, Kilitin hızlı tetiklenmesini sağlamak
İşlevsel özellikler
1.Aşlı Güvenlik Koruması:
AMAT 0100-35054, oda basıncını, gaz akışını ve sıcaklık parametrelerini senkronize olarak izleyebilen çoklu sensör giriş kanallarını entegre eder. Aşırı sınırlı bir değer tespit edildiğinde, güç kaynağı hemen kesilir ve ekipman ve operatörlerin güvenliğini sağlamak için tehlike kaynağı izole edilir
2. Sistem uyumluluk optimizasyonu:
0100-35054, AMAT ENDURA, CENTRA ve diğer fiziksel buhar birikimi (PVD) ve kimyasal buhar birikimi (CVD) ekipmanlarının kontrol sistemleri ile uyumludur, ek sürücülere ihtiyaç duyulmadan fiş ve oynatma konfigürasyonunu destekler
3.Bir istikrar ve anti-müdahale:
AMAT 0100-35054, yüksek voltajlı RF ortamında (ICP dağlama gibi) sinyal iletiminin sıfır yanlış alarmını koruyabilen yedek devre tasarımı ve elektromanyetik ekranlama kaplamasını benimser ve arıza oranı%0.01'den azdır.
4. Olabilirlik ve Teşhis Fonksiyonları:
Yerleşik LED Durum Göstergesi ve Teşhis Arabirimi Destek Uzak Hata Kodu Okumasını Destekleyin. Bakım Personeli, kesinti süresini kısaltmak için Amat'in özel yazılımı (Applied Producer® gibi) aracılığıyla sorun parçalarını hızlı bir şekilde bulabilir
Uygulama senaryoları
Plazma dağlama işlemi:
3D NAND belleğinin yüksek en boy oranında aşınmasında, yan ürün birikiminin neden olduğu ark akıntısını önlemek için oda basıncının gerçek zamanlı izlenmesi gerçekleştirilir.
Metal Film Birikimi:
Bakır ara bağlantı süreçleri için (Endura Alps PVD gibi), film kirliliğinden kaçınmak için püskürtme sırasında gaz sızıntıları tespit edilir.
Oda temizleme işlemi:
CVD ekipmanının bakım döngüsü sırasında, kalıntıların tamamen çıkarıldığından emin olmak için NF₃ plazma temizliğinin otomatik olarak çalıştırılması ve durması tetiklenir